НПАОП 24.66-1.01-82

НПАОП 24.66-1.01-82 Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов (германия и кремния)

УТВЕРЖДЕНЫ Постановлением Госгортехнадзора СССР 26. 11. 82 №31 УТВЕРЖДЕНЫ Министерством цветной металлургии СССР 23. 09.82 №НЧ-13917/23 СОГЛАСОВАНЫ с Госстроем СССР 16.08.82 № АБ-4609-20/2 СОГЛАСОВАНЫ с ЦК профсоюза рабочих металлургической промышленности 11.05.82№02-ЛА-19 Правила безопасности при производстве полупроводниковых материалов германия и кремния МОСКВА "МЕТАЛЛУРГИЯ" 1984 ПРЕДИСЛОВИЕ Настоящие Правила разработаны Государственным ордена Октябрьской Революции научно-исследовательским и проектным институтом редкометаллической промышленности "Гиредмет". Правила разработаны на основе опыта проектирования и эксплуатации предприятий по производству полупроводниковых материалов - германия и кремния. При разработке Правил учтены замечания и предложения предприятий и организаций Минцветмета СССР и органов гос -гортехнадзора. В Правилах изложены требования по безопасности специфичные для производств полупроводниковых материалов германия и кремния. Глава 1 ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ 1.1. Настоящие правила распространяются на предприятия цехи отделения по производству полупроводниковых материалов германия и кремния . На указанные предприятия цехи отделения распространяются также Общие Правила безопасности для предприятий и организаций металлургической промышленности. На цехи и отделения пред -приятии где расположены взрыво-пожароопасные химические производства кроме того распространяются требования Правил безопасности во взрывоопасных и взрывопожароопасных химических и нефтехимических производствах. 1.2. Проектирование строительство и реконструкция предприятий цехов отделений по производству полупроводниковых материалов должны производиться в соответствии со строительными нормами и правилами утвержденными Госстроем СССР нормами технологического проектирования согласованными с Госстроем СССР и соответству-ющими государственными стандартами. Проекты должны быть утверждены в установленном порядке. 1.3. Вносить изменения в конструкцию основного оборудования или в технологические схемы без согласования с проектной организацией или заводом-изготовителем запрещается. 1.4. Порядок и сроки приведения действующих цехов и отделений в соответствие с требованиями настоящих Правил определяются руководителями предприятий по согласованию с местными органами госгор-технадзора и технической инспекцией труда. 1.5. Требования содержащиеся в настоящих Правилах не освобождают администрацию предприятий и организаций от принятия дополнительных мер по обеспечению безопасных и здоровых условий труда на производстве. 1.6. Все действующие производства предприятий по производству германия и кремния должны иметь следующие инструкции утвержденные главным инженером предприятия: а технологические рабочие инструкции ; б по безопасности труда для рабочих каждой профессии; в по ремонту и очистке оборудования; г должностные инструкции для инженерно-технических работников. 1.7. Инструкции по безопасности труда должны быть разработаны с соблюдением требований технологических инструкций настоящих Правил и с учетом требований производственной санитарии и соответствующих стандартов ССБТ. 1.8. В случае изменения технологических процессов или схем коммуникаций или применения новых видов оборудования до внедрения из -менений в производство в действующие инструкции должны быть внесены соответствующие коррективы утвержденные главным инженером предприятия. 1.9. Для вводимых в действие новых производств научно-исследовательскими и проектными институтами или другими организациями внедряющими эти производства должны быть разработаны и утверждены главным инженером предприятия временные инструкции обеспечи -веющие безопасное ведение технологических процессов и безопасную эксплуатацию оборудования. 1.10. Инструкции по безопасности труда должны пересматриваться не реже одного раза в три года. В случае возникновения аварий или травмирования работающих из-за несовершенства инструкций они должны быть пересмотрены в сроки установленные комиссией расследовавшей несчастный случай или аварию. 1.11. Инструкции по безопасности труда и рабочие инструкции должны находиться в комнате мастера соответствующего участка а схемы коммуникаций вывешены на рабочих местах. 1.12. Рабочие и инженерно-технические работники принимаемые в цехи отделения по производству кремния и германия должны проходить предварительное а работающие - периодическое медицинское освидетельствование в соответствии с Инструкцией по проведению обязательных предварительных при поступлении на работу и периодичес -ких медицинских осмотров трудящихся утвержденной Министерством здравоохранения СССР. 1.13. Инженерно-технические работники и рабочие поступающие на работу в цехи отделения по производству кремния и германия а также командированные учащиеся и студенты прибывшие на производственное обучение или практику должны пройти вводный инструктаж в в кабинете охраны труда или в специально оборудованном помещении по программе разработаннбй с учетом требований стандартов ССБТ а также всех особенностей производства и утвержденной главным инженером предприятия. 1.14. О проведении инструктажа должна быть сделана запись в журнале регистрации вводного инструктажа личной карточке инструктажа . В журнале карточке должны расписываться лица прошедшие инструктаж и лицо проводившее его. 1.15. Руководящие и инженерно-технические работники при поступлении на работу связанную с проектированием строительством монтажом и эксплуатацией цехов отделений по производству германия и кремния должны перед допуском к самостоятельной работе сдать экзамен на знание настоящих Правил в объеме выполняемой ими работы. 1.16. Руководящие и инженерно-технические работники связанные с эксплуатацией кроме того должны сдать экзамен на знание инструкций по безопасности труда технологических и других инструкций относящихся к участкам их работы. Такие же экзамены инженерно -технические работники должны сдавать при переходе в цехе с одной работы на другую. 1.17. Периодичность и порядок проверки знания Правил и инструкций по безопасности труда руководящими и инженерно-техническими работниками должны соответствовать Положению о проверке знаний Правил норм и инструкций по технике безопасности руководящими и инженерно-техническими работниками утвержденному Минцветметом СССР. 1.18. Инженерно-технические работники допустившие нарушение Правил или инструкций по безопасности труда должны проходить внеочередную проверку знаний. 1.19. Все рабочие вновь принятые в цехи отделения по произ -водству германия и кремния или переведенные из одного цеха в дру -гой а также учащиеся и студенты указанные в п. 1. 13 настоящих Правил перед допуском к работе должны непосредственно на рабочем месте получить у мастера или начальника участка инструктаж по бе -зопасным методам работы. 1.20. Рабочие не имеющие производственной специальности или меняющие свою специальность а также учащиеся и студенты после прохождения первичного инструктажа на рабочем месте должны в те -чение первых 6 - 1О смен пройти обучение безопасным методам работы под руководством назначенных распоряжением по цеху опытных рабочих и инженерно-технических работников. Это обучение должно производиться по программам утвержденным главным инженером пред -приятия. По истечении срока обучения рабочие студенты и учащиеся должны пройти проверку знаний в комиссии под председательством начальника цеха или его заместителя. Результаты проверки должны оформляться протоколом. К самостоятельной работе указанные рабочие допускаются только после обучения их по специальности в соответствии с Положением о профессиональном обучении и повышении квалификации рабочих на про изводстве разработанным и утвержденным Минцветметом СССР н а основе Типового положения о профессиональном обучении рабочих на производстве утвержденного Госкомитетом СССР по труду и социальным вопросам Госкомитетом СССР по профессионально-техническому образованию и ВЦСПС. 1.21. Рабочие вновь принятые или переведенные из одного цеха в другой на работу по своей специальности допускаются к самостоя -тельной работе после получения ими инструктажа и проверки знаний по безопасности труда в порядке предусмотренном в п. 1.19 и 1.20 настоящих Правил. 1.22. Повышение производственной квалификации рабочих должно производиться в соответствии с Положением указанным в п. 1.20 настоящих Правил. 1.23. Рабочие цехов отделений по производству кремния и германия должны не реже чем через каждые три месяца проходить повторный инструктаж по безопасности труда. Рабочие совмещающие несколько профессий проходят инструктаж по каждой профессии. 1.24. Внеплановый инструктаж по безопасности труда должен проводиться в случаях: а ввода в действие новых или переработанных в установленном порядке инструкций по безопасности труда: б нарушения рабочими инструкций по безопасности труда; в перевода на временную работу требующую дополнительных знаний; г перерывов в работе более чем 30 календарных дней. 1.25. Данные о проведении инструктажей первичного повторного и внепланового должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте личную карточку инструктажа . В журнале .карточке расписываются рабочий прошедший инструктаж и лицо проводившее его с указанием наименования инструкции по которой был проинструктирован рабочий. 1.26. Рабочие цехов отделений по производству германия и кремния должны не реже одного раза в год проходить проверку знания инструкций по безопасности труда в комиссиях назначаемых главным инженером предприятия. Результаты проверки должны заноситься в журнал регистрации инструктажа на рабочем месте личную карточку инструктажа . 1.27. Если комиссия установит что рабочий неудовлетворительно знает инструкции он должен получить дополнительный инструктаж и не позднее чем через 20 дней пройти повторную проверку знаний. Если при повторной проверке знания проверяемого окажутся неудовлетво -рительными он должен быть отстранен от работы по данной профессии. 1.28. Инженерно-технические работники и рабочие связанные с эксплуатацией грузоподъемных машин сосудов работающих под давлением и других объектов подконтрольных органам госгортехнадзора проходят обучение и допускаются к работе согласно требованиям соответствующих правил безопасности утвержденных ГосгортехнадзоромСССР. 1.29. Порядок допуска к работе обучения и проверки знаний персонала связанного с обслуживанием электроустановок должен соответствовать требованиям Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей и правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей. 1.30. В цехах отделениях по производству кремния и германия должен быть составлен перечень работ повышенной опасности газо- взрыво- и пожароопасных работ работ на высоте и др. утвержден -ный главным инженером предприятия. 1.31. К выполнению работ повышенной опасности допускаются инженерно-технические работники и рабочие имеющие специальность и квалификацию соответствующие характеру проводимых работ а также умеющие пользоваться индивидуальными защитными средствами и знающие способы оказания первой доврачебной помощи пострадавшим. Перечень должностей инженерно-технических работников и профессий рабочих подлежащих обучению правилам пользования индивидуальными защитными средствами и оказания первой доврачебной помощи должен утверждаться главным инженером предприятия. 1.32. Работы повышенной опасности должны производиться по наряду-допуску по форме установленной Минцветметом СССР. Выполнение этих работ должно осуществляться бригадой в составе не менее двух человек а в аппаратах боровах газоходах и других подобных местах - не менее трех человек. 1.33. Порядок проведения работ повышенной опасности должен регламентироваться утвержденным главным инженером предприятия Положением составленным в соответствии с требованиями типового Положения о применении нарядов допусков при производстве работ в условиях повышенной опасности на предприятиях цветной металлургии. 1.34. В цехах и отделениях по производству германия и кремния должны быть составлены перечни рабочих мест повышенной опасности утвержденные главным инженером предприятия. С этим перечнем должны быть ознакомлены все рабочие и инженерно-технические работники под расписку. 1.35. В цехах отделениях по производству германия и кремния должны быть составлены планы ликвидации аварий в соответствии с Инструкцией по составлению планов ликвидации аварий утвержденной Госгортехнадзором СССР. Планы ликвидации аварий должны переема -триваться и утверждаться ежегодно за месяц до начала следующего года. Запрещается допускать к работе лиц не ознакомленных с планом ликвидации аварий и не знающих его в части относящейся к месту их работы. 1.36. Администрация предприятия обязана обеспечить рабочих и служащих цехов отделений по производству германия и кремния спецодеждой спецобувью и другими средствами индивидуальной защиты в соответствии с Типовыми отраслевыми нормами бесплатной выдачи специальной одежды специальной обуви и других средств индивидуальной защиты утвержденными Государственным комитетом по труду и социальным вопросам и ВЦСПС. Запрещается допускать к работе лиц без соответствующих индиви -дуальных средств защиты. 1.37. Средства защиты выдаваемые рабочим для индивидуального пользования должны во время работы находиться у рабочих. Правила пользования спецодеждой спецобувью и другими средствами защиты должны быть изложены в инструкциях по безопасности труда с учетом конкретных условий в которых они применяются. 1.38. Порядок выдачи хранения и пользования индивидуальными средствами защиты работающих а также стирки дезинфекции и ре -монта их должен соответствовать инструкции о порядке выдачи хранения и пользования спецодеждой спецобувью и предохранительными приспособлениями утвержденной ВЦСПС. 1.39. Для каждого производственного участка должны быть разработаны и согласованы с медпунктом предприятия меры по оказанию первой доврачебной помощи пострадавшим. 1.40. Для каждого участка предприятия должна быть разработана инструкция содержащая правила личной гигиены для лиц работающих с кислотами щелочами лигатурами органическими растворителями и другими вредными веществами утвержденная главным инженером предприятия. Глава 2 ТЕРРИТОРИЯ ПРЕДПРИЯТИЯ. ЗДАНИЯ 2.1. Отходы вредных и опасных производств должны храниться транспортироваться и уничтожаться в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 2.2. При размещении в подвесных потолках светильников и вентиляционных устройств должны обеспечиваться их удобное и безопасное обслуживание и ремонт. 2.3. Цехи отделения должны быть оснащены необходимым инвентарем и механизмами для очистки наружных и внутренних поверхностей ограждающих конструкций зданий. Глава 3 ВЕНТИЛЯЦИЯ. ВОДОПРОВОД 3.1. Пуск наладка эксплуатация и ремонт вентиляционных систем должны соответствовать требованиям ГОСТ 12.4.О21-75 и настоящих Правил. 3.2. Воздух в рабочей зоне производственных помещений должен соответствовать ГОСТ 12.1.0О5-76. 3.3. Шум создаваемый на рабочих местах установками кондиционирования воздуха вентиляции и воздушного отопления не должен превышать значений предусмотренных ГОСТ 12.1.ООЗ-76. 3.4. Регулирующие клапаны вентиляционных устройств должны быть легко доступны для обслуживания или снабжены дистанционным управлением. 3.5. Вентиляционные установки сблокированные с технологическим оборудованием кроме автоматического включения должны иметь ручное включение расположенное непосредственно у вентиляционной ус -тановки. 3.6. Вытяжные шкафы используемые для работы с вредными и опасными веществами должны иметь верхний и нижний отсосы. 3.7. Помещения с производствами получения и очистки хлорсиланов тонкой очистки водорода водородного восстановления хлорсилана конденсации хлорсиланов получения тетрахлорида германия его очистки и разложения должны быть оборудованы аварийной вытяжной вентиляцией. 3.8. Включение аварийной вытяжной вентиляции должно производиться от автоматических газоанализаторов. В случае если на данные вещества указанные газоанализаторы не разработаны или серийно не выпускаются промышленностью аварийную вентиляцию необходимо включать вручную. Этому включению должна предшествовать подача предупредительного сигнала. Пусковые устройства аварийной вентиляции и включение звукового сигнала должны размещаться снаружи производственного помещения у одних из основных входных дверей и внутри помещения. 3.9. В помещениях с производствами поликристаллических и монокристаллических кремния и германия и на технических этажах должна применяться централизованная вакуумная уборка пыли. 3.10. Для промывки технологической аппаратуры установленной в производственных помещениях а также для удаления пролитых вредных веществ должны быть предусмотрены краны с переносными шлангами для подачи воды. Глава 4 РАСПОЛОЖЕНИЕ ОБОРУДОВАНИЯ 4.1. Размещение оборудования и коммуникаций в помещениях должно соответствовать Общим правилам безопасности для предприятий и организаций металлургической промышленности ГОСТ 12.3.ОО2-75 и строительным нормам и правилам. 4.2. Установка аппаратов сосудов .работающих под давлением в производственных помещениях разрешается если эти аппараты сосуды связаны технологическим процессом с другими аппаратами или оборудованием. 4.3. Расположение деталей оборудования и трубопроводов изготовленных из крупных материалов стекла керамики кварца и т.п. должно исключать возможность их поломки. Глава 5 СОДЕРЖАНИЕ ОСМОТР РЕМОНТ И ЧИСТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ 5.1. Содержание осмотр ремонт и чистка технологического обору дования должны производиться согласно требованиям Общих правил безопасности для предприятий и организаций металлургической промышленности и настоящих Правил. 5.2. Ремонтные работы на оборудовании и трубопроводах где имеются осадки полихлоридов должны производиться только после удаления этих осадков и продуктов их неполного гидролиза способами указанными в п. 9.15 настоящих Правил. 5.3. Все работы по ремонту оборудования в котором перерабатываются или хранятся хлорсиланы или тетрахлорид германия относятся к работам повышенной опасности и должны проводиться по наряду-допуску. 5.4. Работы связанные с вскрытием или разгерметизанией технологического оборудования и коммуникаций и другие виды работ при которых возможно выделение вредных или взрывоопасных веществ а также работы внутри аппаратов емкостей колодцев коллекторов и другого аналогичного оборудования должны выполняться в соответствии с требованиями Временной инструкции по организации безопасного проведения газоопасных работ на предприятиях химической промышленности утвержденной Госгортехнадзором СССР. 5.5. Все ремонтные работы должны производиться под руководством инженерно-технического персонала ответственного за проведение ремонта. 5.6. Ремонт водородных коммуникаций и огнепреградителей а также коммуникаций и аппаратуры для отходящих газов водородного восстановления кремния должен производиться только после полного удаления из них водорода что должно быть подтверждено анализом. 5.7. Перед отсоединением фильтров от трубопроводов необходимо произвести их продувку. Глава 6 ТРЕБОВАНИЯ К ЭЛЕКТРОУСТАНОВКАМ 6.1'. Размещение устройство эксплуатация и ремонт электротехнических устройств и электропроводки на предприятиях производящих полупроводниковые материалы должны соответствовать требованиям Правил устройства энектроустановок Правил технической эксплуатации электроустановок потребителей и Правил техники безопасности при эксплуатации электроустановок потребителей строительных норм и правил ГОСТ 12.2.007.3-75 и настоящих Правил. 6.2. В помещениях где ведутся работы с агрессивными хлоридами хлорсиланами тетрахлоридом германия хлористым водородом и хлором провода и кабели должны применяться с медными жилами. 6.3. Технологическое оборудование и трубопроводы в которых могут образоваться заряды статического электричества должны быть защищены от статического электричества в соответствии с Правилами защиты от статического электричества в производствах химической нефтехимической и нефтеперерабатывающей промышленности. 6.4. Для охлаждения генераторов высокой частоты должна применяться очищенная вода соответствующая требованиям проекта. 6.5. Электродвигатели установки очистки отходящих газов должны быть оборудованы автоматическим включением резервного электропитания. Глава 7 ПРОТИВОПОЖАРНЫЕ ТРЕБОВАНИЯ 7.1. Противопожарная защита цехов и предприятий производящих полупроводниковые материалы должна соответствовать Типовым правилам противопожарной безопасности для промышленных предприятий ГОСТ 12.1.О04-76 и настоящим Правилам. 7.2. Все производственные и вспомогательные здания сооружения и склады должны быть обеспечены первичными средствами пожаротушения. 7.3. Противопожарное оборудование и инвентарь должны размещаться в местах согласованных с местной пожарной охраной. К ним должен быть обеспечен свободный доступ. На видных местах должны быть вывешены инструкции и правила обращения со средствами пожаротушения. 7.4. При загорании трихлорсилана и его смесей тушение пламени должно производиться водой. 7.5. Помещения с взрывоопасными и пожароопасными зонами должны быть обеспечены автоматической пожарной сигнализацией с установкой извещателей на видном месте а также автоматическими средствами пожаротушения в соответствии с перечнем утвержденным в установленном порядке. 7.6. Во всех помещениях полупроводникового производства а также на складах трихлорсилана курить запрещается. Для курения должны быть отведены помещения или специальные места. 7.7. В помещениях где проводятся работы с водородом и трихлор-силаном а также его смесями и на складах трихлорсилана огневые работы должны проводиться в соответствии с Типовой инструкцией по организации безопасного проведения огневых работ на взрывоопасных и взрывопожароопасных объектах утвержденной Госгортехнадзором СССР. Глава 8 ОБЩИЕ ТРЕБОВАНИЯ К БЕЗОПАСНОМУ ВЕДЕНИЮ ПРОЦЕССОВ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ КРЕМНИЯ И ГЕРМАНИЯ 8.1. Технологические процессы производства поликристаллического и монокристаллического кремния и германия должны осуществляться в соответствии с технологическими инструкциями утвержденными главным инженером предприятия. 8.2. Автоматизация и механизация производства должны обеспечивать безопасность производственных процессов и возможность контроля и регулирования технологических процессов как правило с центрального пульта управления. 8.3. Оборудование аппараты коммуникации и арматура предназначенные для работы с хлорсиланами водородом тетрахлопидом германия и другими вредными и взрывоопасными продуктами должны быть герметичными. Герметичность их должна систематически проверяться в сроки установленные инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 8.4. Запрещается работать на оборудовании аппаратах коммуникациях и арматуре лри нарушении их герметичности. 8.5. Для обнаружения мест утечки паров хлорсиланов и тетрахло-рида германия из аппаратуры и трубопроводов необходимо пользоваться раствором аммиака. 8.6. При остановке вентиляционных систем в производственных помещениях в которых ведутся работы с хлорсиланами водородом и тет-рахлоридом германия технологические процессы должны быть приостановлены. 8.7. Все аппараты и емкости с тетрахлоридом германия а также хпорсипанами за исключением ректификационных колонн должны быть соединены со специальной системой или несколькими системами поглотительно-очистных устройств. 8.8. Транспортирование хлорсиланов хлорида германия и их отходов по трубопроводам должно производиться преимущественно самотеком или способами указанными в п. 9.6. настоящих Правил. 8.9. При передавливании хлорсиланов в емкости давление азота не должно превышать рабочее давление этих емкостей. 8.10. Аппараты предназначенные для переработки хлорсиланов и те-трахлорида германия резервуары и емкости должны заполняться ими не более чем на 80 % их полезного объема. 8.11. Пролитые хлорсиланы и тетрахлорид германия необходимо немедленно нейтрализовать и убрать продукты гидролиза. 8.12. Для перевозки хлорсиланов и тетрахлорида германия должна применяться стальная никелевая герметичная тара. 8.13. При перевозке трихлорсилана и отходов его производства не должно допускаться соударении тары. Перевозка указанных продуктов должна осуществляться согласно инструкции утвержденной главным инженером предприятия. 8.14. Тара должна иметь вентили для загрузки и выгрузки хлорсиланов или тетрахлорида германия а также вентиль для соединения с атмосферой. Тара для трихлорсилана кроме того должна оснащаться манометром. 8.15. Хранить хлорсиланы и тетрахлорид германия в цехе разрешается только в герметических емкостях и в вентилируемых помещениях или в вытяжных шкафах или на открытых площадках защищенных от воздействия солнечных лучей. При этом трихлорсилан разрешается хранить в указанных помещениях и шкафах в количестве не превышающем суточного запаса. 8.16. В помещениях где ведутся работы с хлорсиланами кислотами щелочами тетрахлоридом германия и т.п. веществами а также на складах хлорсиланов должны быть аварийные души раковины самопомощи и фонтанчики подключенные к хозяйственно-питьевому водопроводу. 8.17. Аппараты и трубопроводы содержащие в технологическом режиме водород или пары трихлорсилана после остановки и перед пуском должны продуваться ааотом. Окончание продувки должно определяться анализом состава продувочного газа; водород и пары трихлорсилана в продувочном газе на выходе после остановки должны отсутствовать а содержание кислорода в продувочном газе перед пуском не должно превышать 4 % объемн. . 8.18. Аппараты и трубопроводы содержащие в технологическом режиме тетрахлорид германия и тетрахлорсилан после остановки должны продуваться азотом. 8.19. Содержание кислорода в азоте применяемом для продувки аппаратов и трубопроводов работающих с водородом и трихлорсиланом не должно превышать 3 5 % объемы. . 8.20. При отборе проб хлорсиланов и тетрахлорида германия из аппаратов и емкостей должны быть приняты меры обеспечивающие предотвращение подсосов воздуха в систему аппаратов и коммуникаций а также утечки паров хлорсиланов и тетрахлорида германия в атмосферу производственных помещений. 8.21. Вся контрольно-измерительная аппаратура установленная в производственных помещениях где ведутся работы с хлорсиланами и тетрахлоридом германия а также на складе трихлорсилана и тетра-хлорсилана должна быть защищена от воздействия агрессивной среды или выполнена из антикоррозионного материала. 8.22. Работа аппаратуры и высокочастотных установок при неисправных контрольно-измерительных приборах приборах защиты автоматики и блокировочных устройств запрещается. 8.23. Устройство и эксплуатация трубопроводов водорода хлора хлористого водорода должны соответствовать требованиям Правил устройства и безопасной эксплуатации трубопроводов для горючих токсичных и сжиженных газов ПУГ-69 утвержденных Госгортехнадзором СССР. 8.24. Все аппараты и трубопроводы расположенные в помещении и имеющие температуру поверхности ниже О С должны быть теплоизо-лированы. Глава 9 ПРОИЗВОДСТВО КРЕМНИЯ Хранение трихлорсилана и тетрахлорсилана на складе 9.1. Транспортирование хлорсиланов по железной дороге должно осуществляться в цистернах предусмотренных для перевозки сжиженного хлора. Цистерны для хлорсиланов должны иметь отличительные полосы красного цвета. Кроме того на них должны быть нанесены маркировка с указанием наименования продукта и надпись "Опасно". Эксплуатация цистерн для перевозки хлорсиланов должна соответствовать Правилам устройства и безопасной эксплуатации сосудов работающих под давлением утвержденным Госгортехнадзором СССР. 9.2. Цистерны для транспортирования хлорсиланов по железной дороге должны быть снабжены зонтами для защиты от солнечных лучей. 9.3. При наполнении и опорожнении цистерны сообщение ее с атмосферой необходимо осуществлять через хлоркальцевый затвор или присоединением к абгазной линии. 9.4. Порядок наполнения цистерн и бочек трихлорсиланом и тетра-хлорсиланом и опорожнения их должен регламентироваться инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 9.5. Цистерны и бочки должны быть заполнены трихлорсиланом и тетрахлорсиланом не более чем на 80 % их полезного объема при этом загрузка цистерны не должна превышать ее номинальную грузоподъемность. 9.6. Транспортирование трихлорсилана и тетрахлорсилана из железнодорожной цистерны в резервуары склада и из них на производство должно осуществляться путем передавливания азотом или перекачкой специальными насосами. Образующиеся при этом абгазы необходимо направлять в отделение нейтрализации. Запрещается применять для передавливания сжатый воздух. 9.7. Хранение трихлорсилана и тетрахлорсилана должно осуществляться в емкостях соответствующих требованиям Правил устройства и безопасной эксплуатации сосудов работающих под давлением. 9.8. Резервуары для трихлорсилана и тетрахлорсилана должны устанавливаться на поддоны. При установке резервуаров на поддон емкость его должна быть не менее емкости наибольшего резервуара. Поддон должен быть стойким к воздействию указанных продуктов и иметь уклон к сборнику. 9.9. Хранение трихлорсилана и тетрахлорсилана в небольших емкостях бочках или специальных контейнерах может производиться в вентилируемых складах или под навесами на открытых площадках. 9.10. Герметичность всех разъемных и сварных соединений в емкостях арматуре и трубопроводах должна систематически проверяться в сроки установленные инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. Результаты проверки должны заноситься в журнал. Утечки паров и жидкостей хлорсиланов и их смесей должны немедленно устраняться. Общие требования при производстве кремния 9.11. В производстве поликристаллического кремния обязательному контролю и регулированию подлежат давление газов и уровень жидкости в аппаратах. 9.12. Для демонтажа очистки и промывки съемного оборудования и разъемных коммуникаций в которых находились хлорсиланы должно быть специально оборудованное помещение площадка с эффективной вентиляцией. 9.13. Транспортирование оборудования в специальное помещение для промывки должно осуществляться в собранном виде и с закрытыми штуцерами. При транспортировании разобранных трубопроводов концы труб должны быть закрыты заглушками. 9.14. Перед демонтажем аппаратов коммуникаций и запорной арматуры необходимо слить из них жидкие хлориды в заранее подготовленную емкость затем продуть их азотом. 9.15. При мойке и очистке трубопроводов и аппаратуры из-под трихлорсилана или из-под продуктов содержавших полимерные взрывоопасные соединения удалять налеты и осадки необходимо механическим путем на специальных стендах обильно смачивая водой. Предварительно такие осадки необходимо растворять тетрахлорсиланем или разлагать щелочными растворами или обрабатывать паром с последующей продувкой сжатым воздухом. 9.16. Промывка аппаратуры и трубопроводов из-под хлорсиланов содержащих взвеси твердых частиц должна производиться тетрахлор-силаном. Промывка аппаратуры водой производится только перед профилактическим осмотром или ремонтом. Синтез трихлорсилана 9.17. Процесс синтеза трихлорсилана должен осуществляться по непрерывной схеме с максимально возможной автоматизацией контроля и управления. 9.18. Управление процессом синтеза трихлорсилана должно осуществляться централизованно со щитов и пультов управления. 9.19. При повышении или понижении давления в системе одного из компонентов водорода или хлора или прекращении поступления одного из них подача компонентов в систему должна автоматически прекращаться. 9.20. Перед разгрузкой пылевых камер циклонов фильтров и реакторов синтеза необходимо тщательно продуть их азотом. 9.21. Выгрузка отработанного кремния после синтеза трихлорсилана и кремниевой пыли из системы очистки парогазовой смеси должна производиться в герметичную тару после десорбции соединений содержащих хлор и охлаждения системы. Отходы кремния должны направляться на специальную площадку. Очистка и конденсация хлорсиланов трихлорсилана и тетрахлорсилана 9.22. Очистка хлорсиланов должна осуществляться по непрерывной скеме с максимальным использованием принципа самотека и автоматизации контроля и управления. 9.23. Управление процессами очистки хлорсиланов должно производиться со щитов и пультов размещенных в помещении КИП. 9.24. Давление азота в клеммных коробках кубов ректификации за исключением колонн ректификации тетрахлорсилана размещенных в отдельных помещениях должно быть в пределах 0 5 - 0 7 кгс/см а в азотных линиях продувки аппарата не более 0 7 кгс/см . 9.25. Уровень жидкости в кубе колонны ректификации должен быть выше поверхности нагревателей не менее чем на 2ОО мм. При понижении указанного уровня жидкости превышении установленного давления в кубе прекращении подачи азота в клеммные коробки кубов илиг воды на дефлегматор нагреватели кубов должны автоматически отключаться а колонны заполняться азотом. 9.26. На всех аппаратах мерные стекла и ротаметры должны быть отделены от аппарата вентилями и ограждены защитными кожухами. 9. 27. При работе на аппаратах термической очистки хлорсиланов замена насадки должна производиться только после полного удаления паров хлорсиланов. 9.28. Емкости и аппаратура для хлорсиланов должны иметь устройства для освобождения их от продукта в случае аварии. Опорожнение указанной аппаратуры и емкостей может производиться в технологические аппараты или специально предусмотренные аварийные емкости. При установке аварийных емкостей объем их должен приниматься из расчета на один наибольший по объему аппарат цеха. 9.29. Емкости для аварийного слива хлорсиланов должны быть герметичными и сухими. 9.30. Вскрытие куба и удаление кубовых остатков должны производиться согласно инструкции утвержденной главным инженером предприятия. 9.31. Выгрузка жидких кубовых остатков должна производиться в герметичные емкости. 9.32. Промывка кубов от осадка должна производиться тетрахлор-силаном. 9.33. Кубовые остатки необходимо утилизировать нейтрализовать или уничтожать в специально отведенных местах. Очистка водорода от примесей 9.34. Перед пуском установок по очистке водорода необходимо предварительно проверить их на герметичность с помощью опрессова-ния под рабочим давлением с последующей продувкой азотом а затем водородом по обводной линии. 9.35. При работе установки давление водорода в системе не должно превышать рабочего давления предусмотренного паспортом установки и не должно быть ниже 0 15 кгс/см2 . 9.36. Водород с примесями отходящий от диффузионной очистки перед выбросом в атмосферу должен сжигаться на свече под зонтом местной вытяжной вентиляции. Конструкция свечи должна исключать самопроизвольный отрыв и погасание факела. 9.37. Устройство вентиляции в помещениях сорбционной очистки водорода должно соответствовать Правилам безопасности при производстве водорода методом электролиза воды. Водородное восстановление хлорсиланов 9.38. Подача исходных продуктов в аппараты а также все измерения температуры и давления в них должны быть автоматизированы. 9.39. Управление процессом водородного восстановления хлорсиланов должно быть сосредоточено на щитах управления расположенных в изолированном помещении снабженном приточной вентиляцией. 9.40. В процессе эксплуатации аппараты водородного восстановления перед пуском должны быть проверены на герметичность с помощью опрессования под рабочим давлением. 9.41. Аппараты водородного восстановления хлорсиланов перед демонтажем должны быть продуты азотом. Перед вскрытием аппарата избыточное давление в нем должно быть снято. 9.42. Доступ к фланцевым и другим разъемным соединениям на аппаратах водородного восстановления должен быть удобным и безопасным. 9.43. Демонтаж аппаратов водородного восстановления разрешается производить только при работающей приточно-вытяжной вентиляции. 9.44. Перед чисткой аппарата водородного восстановления и трубопроводов хлорсиланов необходимо удалить со стенок полихлориды кремния в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 9.45. Размещение аппаратов водородного восстановления в помещении должно обеспечивать их удобную и безопасную транспортировку в помещение для мойки. 9.46. Транспортировка аппаратов восстановления в помещение для мойки должна осуществляться с заглушенными фланцами патрубков подачи и вывода хлорсилана. 9.47. Испаритель хлорсиланов должен иметь удобный доступ к внутренним узлам. 9.48. Жидкость для заливки гидрозатворов не должна взаимодействовать с парами отходящих хлорсиланов. 9.49. Помещения в которых размещены аппараты водородного вос становления хлорсиланов должны быть оборудованы приточной и вытяжной вентиляцией. Заборные патрубки вытяжной вентиляции должны быть размещены в нижней и верхней зонах помещения. Очистка газовых выбросов сточных вод и переработка отходов производства 9.50. В производствах поли- и монокристаллического кремния очистке подлежат следующие отходы производства: а несконденсировавшаяся парогазовая смесь пары хлорсиланов хлористый водород с содержанием водорода более 95 % по объему; б абгазы от емкостей и гидрозатворов отделения ректификации содержащих хлорсиланы; в кубовые остатки с полихлоридами полихлорсиланами ; г кислые стоки от мойки реакторов; д травильные растворы отделений подготовки сырья и материалов и сточные воды химлаборатории. 9.51. Очистка газовых выбросов и сточных вод должна обеспечивать снижение концентрации вредных веществ до санитарных норм. 9.52. Хранение и транспортирование кубового остатка необходимо осуществлять в герметичных бочках и цистернах оборудованных запорной арматурой и манометрами. 9.53. Емкость с кубовым остатком и пустую тару из-под него необходимо оберегать от ударов и сотрясений во избежание взрыва продуктов его гидролиза. 9.54. Мойка и чистка внутренних полостей аппаратуры для удаления налетов полихлоридов и других продуктов должны производиться в соответствии с требованиями п. 9.15. настоящих Правил. 9.55. Трубопроводы для подачи очищаемых газов и аппараты перед пуском и после остановки должны продуваться азотом. 9.56. Трубопроводы отходящей парогазовой смеси от аппаратов восстановления должны быть разъемными на фланцевых соединениях . 9.57. Все ремонтные работы на установке обезвреживания газов и стоков должны выполняться по наряду-допуску. Производство монокристаллического кремния методом бестигельной зонной плавки 9.58. Высокочастотные установки для бестигельной зонной плавки кремния должны соответствовать Санитарным нормам и правилам при работе с источниками электромагнитных полей высоких ультравысоких и сверхвысоких частот. 9.59. Приемка вновь вводимых реконструированных и. капитально отремонтированных высокочастотныхустановок в эксплуатацию должна производиться при условии: а выполнения требований раздела 6 настоящих Правил; б проведения испытаний работы установки согласно программе завода-изготовителя оформленных актом; в обеспечения санитарных норм по уровню напряженности электромагнитного поля на рабочем месте и норм радиопомех; г регистрации установки в органах радиоинспекции; д проведения испытаний заземления и сопротивления электрических цепей установки; е наличия исправных защитных блокировок. 9.60. На рабочих местах около высокочастотного генератора и установки зонной плавки необходимо иметь диэлектрические коврики. 9.61. Высокочастотные установки должны иметь конструктивные ограждения токоведущих частей с механической или электрической блокировкой на дверцах ограждений снимающих напряжение при их открывании. 9.62. Подача охлаждающей воды на высокочастотную установку должна осуществляться непрерывно с момента включения установки до полного охлаждения деталей после ее отключения. 9.63. Водоохлаждение должно быть сблокировано с устройством включающим напряжение на установку. В высокочастотных установках должна быть предусмотрена сигнализация предупреждающая о прекращении поступления воды. В случае попадания воды в камеру установки во время процесса плавки следует немедленно снять высокое напряжение и прекратить подачу воды на индуктор и печной блок. 9.64. Порядок пуска работы и остановки высокочастотных установок должен определяться технологической инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 9.65. При автоматическом отключении установки в процессе работы повторное включение следует производить только после выявления и устранения причины отключения электротехническим персоналом с последующей записью в эксплуатационном журнале. 9.66. Каждая высокочастотная установка должна иметь технологический журнал для записи технологических режимов а также замеченных во время смены неполадок и неисправностей в оборудовании приборах защиты автоматике и блокировочных устройствах. 9.67. Обязанности электротехнического персонала и операторов -плавильщиков должны быть четко разграничены. 9.68. Эксплуатация высокочастотных установок при снятом ограждении нарушении в экранировке блокировке и заземлении запрещается. 9.69. Предельно допустимые значения напряженности и плотности потока энергии электромагнитного поля на рабочих местах периодичность измерения а также способы и средства защиты от воздействия электромагнитных полей должны соответствовать ГОСТ 12.1.ОО6-76. 9.70. При превышении на рабочих местах предельно допустимой напряженности и плотности потока энергии электромагнитного поля эксплуатация установки запрещается. 9.71. Высокочастотные установки в которых в качестве среды плавки используется водород должны быть оборудованы устройствами для отвода и дожигания водорода отходящего от установок. Конструкция свечи дожигания должна исключать отрыв и погасание факела. 9.72. Устройство для дожигания водорода должно быть сблокировано с звуковой сигнализацией срабатывающей при прекращении подачи водорода. 9.73. Включение высокочастотной установки должно быть сблокировано со свечой дожигания водорода. При неисправной или невключенной спирали свечи дожигания работа печи запрещается. 9.74. При обнаружении утечки водорода из камеры или при перегорании спирали напряжение с установки должно быть немедленно снято подача водорода в установку отключена а камера продута азотом. 9.75. Работы связанные с легированием кремния бором мышьяком фосфором и другими вредными веществами и их соединениями должны производиться в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. Производство монокристаллического кремния методом Чохральского 9.76. На производство монокристаллического кремния методом Чохральского распространяются требования пп. 9.62-9.67 и 9.71-9.75 настоящих Правил. 9.77. Корпуса печей и пульты управления должны иметь видимое исправное заземление. 9.78. Все токоведущие части установки выращивания монокристаллов кремния должны иметь ограждение исключающее возможность прикосновения обслуживающего персонала к токоведущим частям находящимся под напряжением. 9.79. Открывать рабочую камеру печи разрешается только после остывания печи. 9.80. Наблюдение за процессом плавления и выращивания монокристаллов необходимо вести только через светофильтр. 9.81. При использовании инертных газов и водорода давление газов в камере установки не должно превышать значений указанных в паспорте установки. 9.82. Форвакуумные насосы как правило должны размещаться в отдельном помещении оборудованном приточно-вытяжной вентиляцией. 9.83. При падении вакуума в работающей установке после нагрева кремния ниже величины предусмотренной технологической инструкцией установка должна быть отключена от электропитания а ее рабочая камера заполнена азотом или другим инертным газом. Вскрытие камеры в этом случае разрешается только после полного остывания кремния. Подготовка кремния и лигатуры к плавке и кристаллов кремния к металлографическим исследованиям 9.84. Работы связанные с химической обработкой кремния должны проводиться в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 9.85. Производства химической обработки кремния должны быть размещены в отдельных помещениях оборудованных приточно-вытяж -ной вентиляцией и вытяжными шкафами. 9.86. Вытяжные шкафы должны быть оборудованы водопроводом электрическим освещением при необходимости и приборами электрического нагрева с выведенными наружу выключателями и штепсельньь ми розетками. Провода к электроприборам должны быть изолированы резиновой трубкой. Стенки и панель вытяжного шкафа а также водопроводная раковина в вытяжном шкафу предназначенная для слива химических реагентов должны облицовываться химически стойкими материалами. 9.87. Створки вытяжных шкафов во время работы должны быть закрыты. Открывать створки разрешается только на время обслуживания приборов и установок закладки и выемки кристаллов. 9.88. В помещениях для химической обработки кремния полы и панели стен должны быть облицованы химически стойкими материалами. Помещения должны быть оборудованы водопроводными кранами с резиновыми шлангами и насадками для смывания с кожи в случае попадания на нее кислоты или щелочи а также фонтанчиками для промывания глаз. 9.89. Переноску кислот одним человеком можно производить в соответствующей таре емкостью не более 5 л или в специальных ящи -ках. Бутыли емкостью более 5 л с кислотами и растворами щелочей должны переноситься двумя работниками. 9.90. Кислоты щелочи и другие едкие жидкости следует разливать при помощи стеклянных сифонов с грушей или других нагнетательных приспособлений. Разлив концентрированных летучих кислот и растворов аммиака должен производиться только в вытяжном шкафу. 9.91. Отработанные кислоты и щелочи должны быть нейтрализованы. 9.92. Резка шлифовка и полировки кремния должны производиться на специальных станках. Помещения в которых установлены станки должны быть оборудованы приточно-вытяжной вентиляцией. 9.93. На станках для резки кремния должны быть установлены защитные кожухи. Работа в аналитической лаборатории 9.94. Работы в аналитической лаборатории с хлорсиланами кислотами щелочами вредными веществами и органическими растворителями должны выполняться только в вытяжных шкафах при работающей приточно-вытяжной вентиляции и при наличии нейтрализующих и дегазирующих растворов. 9.95. Работы с кислотами щелочами и органическими растворителями должны проводиться в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 9.96. Запрещается выливать в канализацию остатки хлорсиланов. 9.97. При работе на спектрографе должно устанавливаться специальное ограждение от электцической дуги. Смотреть на электрическую дугу без защитных очков запрещается. Работа на спектрографе разрешается только при работающей вытяжной вентиляции. Глава 1О ПРОИЗВОДСТВО ГЕРМАНИЯ Гидрометаллургический передел 10.1. На производство германия распространяются требования пп. 9.14 9.26 9.34-9.37 и 9.58-9.75 настоящих Правил. 10.2. Реактор разложения со всеми коммуникациями и арматурой а также другие аппараты где перерабатывается тетрахлорид германия перед пуском должны проверяться на плотность путем обдувания парами аммиака во время опрессовки азотом или инертным газом. В оп-рессовочный газ необходимо добавлять до 10 % хлора или хлористого водорода. Опрессовка реактора должна производиться при работающей мешалке и закрытом вентиле на абгазной линии. 10.3. От люков баков и других емкостей из которых при их открывании происходит вьщеление паров тетрахлорида германия или других вредных паров должны быть устроены местные отсосы. 10.4. Все стеклянные и кварцевые части аппаратов должны иметь надежные защитные кожухи и предохраняться от ударов и сотрясений. 10.5. На линии подачи хлора должен быть предусмотрен клапан постоянного давления. Исправность действия клапана должна проверяться ежедневно. 10.6. Транспортирование хранение и опорожнение бутылей с тет-рахлоридом германия должны производиться в соответствии с инструкцией утвержденной главным инженером предприятия. 10.7. Рабочее давление и разрежение в реакторах не должны превышать значений предусмотренных инструкцией утвержденной глав -ным инженером предприятия. 10.8. Для каждого вида концентрата должны быть установлены инструкцией последовательность загрузки материалов и реагентов в реактор и порядок выгрузки кубового остатка. 10.9. Вскрывать люк реактора разложения без предварительной продувки системы азотом или вакуумирования системы запрещается. 10.10. Во избежание образования в аппаратах и трубопроводах мышьяковистого водорода их металлические поверхности должны быть защищены гуммировкой от контакта с кислыми растворами содержащи -ми мышьяк. 10.11. Для предотвращения увеличения давления в кубах и колоннах установок дистилляции ректификации экстрактивной ректификации выше значений предусмотренных технологической инструкцией а также при прекращении подачи охлаждающей воды на дефлегматор и холодильники должны предусматриваться устройства автоматически отключающие обогрев кубов. 10.12. Перед пуском в работу колонны установок дистилляции ректификации и экстрактивной ректификации должны быть проверены на герметичность обдуванием парами аммиака при заполнении колонн хло-разотной смесью и выдерживанием под рабочим давлением в течение 15 мин. 10.13. Проливы растворов и аммиачной воды в отделении нейтрализации не допускаются. 10.14. Реакторы нейтрализации во время работы должны быть герметически закрыты а в случае невозможности герметизации должны устраиваться местные отсосы. Восстановление двуокиси германия 10.15. Все токоведущие части электропечей сопротивления для восстановления двуокиси германия должны иметь ограждения предохраняющие обслуживающий персонал от случайного прикосновения к токоведущим частям находящимся под напряжением. 10.16. Осмотр и ремонт нагревательных элементов установки должны производиться в соответствии с инструкцией по эксплуатации входящей в паспорт печной установки. 10.17. Установки предназначенные для восстановления двуокиси германия перед подачей Б них водорода должны продуваться азотом или инертным газом. 10.18. При проведении процесса восстановления двуокиси германия в рабочем объеме установки должно поддерживаться избыточное давление водорода исключающее подсос воздуха. 10.19. При резком падении давления в линии водорода необходимо немедленно заполнить рабочий объем установки азотом или другим инертным газом прекратить подачу водорода и отключить нагревательные элементы установки. Зонная очистка германия 10.20. На высокочастотные установки для зонной очистки германия распространяются требования пп. 9.62-9.75 9.77-9.79 9.81-9.83 10.17-10.19 настоящих Правил 10.21. Вода для охлаждения деталей установок находящихся под напряжением нагревательные индукторы высокочастотные трансформаторы генераторные лампы и др. должна подаваться через шланги из изоляционного материала. На концах шлангов для свободного слива воды в воронку должны быть установлены заземленные металлические наконечники. 10.22. Все токоведущие части установки должны быть ограждены или размещены так чтобы исключалось прикосновение к ним. 10.23. Блоки установки имеющие конденсаторы в которых при отключении может остаться заряд должны быть снабжены разрядным устройством сопротивления трансформаторы напряжения действующим при открывании дверей данного блока установки. 10.24. Высокочастотная установка питающаяся от шин индивидуального преобразователя частоты должна быть конструктивно оформлена так чтобы обслуживание установки оператором-плавильщиком не было сопряжено с опасностью прикосновения к индуктору или шинам находящимся под напряжением. Индуктор должен быть снабжен блокировкой снимающей с него напряжение при прекращении подачи воды. Выращивание монокристаллов германия методом Чохральского химическая и механическая обработка германия 10.25. На производство монокристаллического германия методом Чохральского распространяются требования пп. 9.77-9.79 и 9.81-9.83 настоящих Правил. 10.26. На работы связанные с химической и механической обработкой германия распространяются требования пп. 9.84-9.93 настоящих Правил. Глава 11 ОТВЕТСТВЕННОСТЬ ЗА НАРУШЕНИЕ ПРАВИЛ БЕЗОПАСНОСТИ 11.1. Настоящие Правила обязательны для выполнения всеми должностными лицами и инженерно-техническими работниками занятыми проектированием строительством и эксплуатацией предприятий цехов отделений по производству полупроводниковых материалов германия и кремния а также изготовлением и ремонтом оборудования для них. Рабочие обязаны руководствоваться инструкциями по безопасности труда по профессиям разработанными и утвержденными в порядке установленном пп. 1.6 и 1.7 настоящих Правил. 11.2. Должностные лица предприятий цехов отделений и организаций по производству полупроводниковых материалов германия и кремния занятые эксплуатацией а также инженерно-технические ра-ботники учреждений осуществляющие проектирование строительство конструирование и другие работы для указанных предприятий цехов отделений виновные в нарушении настоящих Правил несут личную ответственность независимо от того привело или не привело это нарушение к аварии или несчастному случаю. Они отвечают также за нарушения допущенные их подчиненными. Выдача должностными лицами указаний или распоряжений принуждающих подчиненных нарушать правила безопасности и инструкции к ним самовольное возобновление работ остановленных органами гос гортехнадзора или технической инспекцией труда а также непринятие этими лицами мер по устранению нарушений которые допускаются в их присутствии подчиненными им должностными лицами или рабочими являются грубейшим нарушением Правил. В зависимости от характера нарушений и их последствий все указанные лица несут ответственность в дисциплинарном административном или судебном порядке 11.3. Рабочие при невыполнении ими требований безопасности изложенных в инструкциях по безопасности труда по профессиям в зависимости от характера нарушений несут ответственность в установленном порядке. Справочный материал Применяемые и образующиеся в полупроводниковом производстве материалы Материал Химическая формула Агрегатное состояние основные свойства Биологическое действие пожаро- и взрывоопасность Первая помощь средства зашиты 1 2 3 4 5 Технический кремний марки Кр-О Кр-1 Si Кристаллическое вещество. Плотность 2 4 г/см3. Температура плавления 1412°С Попадание пыли в легкие может вызвать хроническое заболевание - силикоз При работах в запыленном помещении пользоваться респира -торами Трихлорсилан SiHCl3 Подвижная бесцветная жидкость с едким запахом. Температура кипения 31 5°С. Температура плавления минус 126 5С. Плотность при 2О°С 1 34 г/см3. Температура самовоспламенения 18О°С. Нижний предел взрываемости паров с воздухом 6 6 % объемн. . Сильно раздражает глаза слизистые оболочки и верхние дыхательные пути; при попадании на кожу вызывает химический ожог. Пары взрывоопасны При отравлении парами вывести пострадавшего на свежий воздух дать теплое молоко с содой вызвать врача. При попадании жидкости в глаза и на кожу смыть сильной струей воды.     Верхний предел взрываемости паров с воздухом 91 % объемн. . Предельно допустимая концен трация паров в воздухе рабочей зоны ПДК 1мг/м3. Класс опасности 2 То же Марка противо- газа - В или БКФ То же Смесь трихлор-силана с тетра-хлорсиланом 1:1 SiHCl3 SiCl4 Подвижная бесцветная жидкость с едким запахом. Температура самовоспламенения 198°С. Нижний предел взрываемости паров с воздухом 12 2 % объемн. . Верхний предел взрываемости с воздухом 87 9 % объемн. . Температурный интервал воспламенения от минус 16 до 37 5°С. Класс опасности 2     Тетрахлорсилан тетрахлорид кремния четы-реххлористый кремний SiCI4 Подвижная бесцветная жидкость с едким запахом. Температура кипения 56 8°С. Температура плавления минус 68°С. Плотность при 20°С 1 48 г/см3. ПДК 1 мг/м3. Класс опасности 2. Биологическое действие такое же как у три-хлорсилана но негорюч; пары невзрывоопасны   1 2 3 4 5 Полихлориды кремния полихлорсиланы Смесь соедине ний Si2 C16 Si3Cl8.SuClio Жидкие вязкие смолооб-разные вещества легко гидролизуютея с выделением хлористого водорода. Данных по ПДК и классу опасности нет При попадании на тело человека действуют как хлорсиланы. Пирофорны. Продукты гидролиза взрывоопасны При попадании на кожу смыть обильной струей воды. Глаза промыть 3 %-ным раствором питьевой соды Водород Н2 Бесцветный газ без запаха горюч. Плотность 0 09 г/л. Относительная плотность 0 07. Нижний предел взрываемости с воздухом 4 09 % объемн. . Верхний предел взрываемости с воздухом 80 % объемн. . Температура самовоспламенения в смеси с воздухом 45О°С и зависит от состава смеси Биологически инертен но снижает содержание кислорода в воздухе и может вызвать удушье. Взрывоопасен в смеси с воздухом кислородом или хлором   Хлор С1 Газ желто-зеленого цвета с резким запахом. При нормальном давлении сжижается при минус 34°С и затвердевает при минус 101°С. Относительная плотность 2 49. ПДК 1 мг/м . Класс опасности 2 Токсичен. Образует взрывоопасные смеси с горючими газами При отравлении вывести пострадавшего на свежий воздух промыть глаза полость носа и рта 2 %-ным раствором питьевой соды. Вызвать врача. Марка противогаза БКФ Азот N2 Бесцветный газ без запаха. Температура кипения минус 196°С. Относительная плотность 0 97 Биологическое действие такое же как у водорода. Жидкий азот вызывает ожоги При ожоге жидким азотом обратиться к врачу Хлористый водород НCL Бесцветный газ с резким запахом. Относительная плотность 0.7. Температура плавления минус 112C. Температура кипения минус 85°С. ПДК 5 мг/м3. Класс опасности 2 Вызывает раздражение и химический ожог глаз слизистых оболочек тканей легких Вывести пострадавшего на свежий воздух промыть глаза полость рта и носа 2 %-ным раствором питьевой соды. Противогаз марки БКФ или В Соляная кислота Раствор НС 1 вводе Бесцветная или желтоватая жид-вость. Концентрированная кислота "дымит" на воздухе. Плотность 37 %-ной кислоты 1 19 г/см3. ПДК 5 мг/м . Класс опасности 2 Биологическое действие паров кислоты такое же как у хлористого водорода. Попадание кислоты на кожу и в глаза вызывает химический ожог Смыть кислоту обильной струей воды затем промыть кожу и глаза 2 %-ным раствором питьевой соды. Для защиты глаз и органов дыхания противогаз марки В или БКФ Плавиковая кислота Раствор HF - в воде Бесцветная жидкость. Плотность 40 %-ной кислоты 1 13 г/см3. Выделяющийся HF помимо раздражающего действия как НС1 обладает ток- То же 1 2 3 4 5     ПДК по HF 0 5 мг/м3. Класс опасности 2 сичным действием. Кислота при попадании на кожу вызывает трудно заживаемые ожоги   Азотная кислота HNО3 Бесцветная жидкость при хранении может желтеть. Плотность 25 %-ной кислоты 1 15 г/см3. ПДК и класс опасности определяются окислами азота. ПДК в пересчете на N02 5 мг/м . Класс опасности 2 При попадании на кожу вызывает химические ожоги. Пары ядовиты. Вызывает воспламенение горючих веществ То же Перекись водорода пергидроль Раствор Н2 О2 в воде до 31% Бесцветная жидкость. При концентрации 31 % плотность 1 465 г/см3 Температура плавления минус 0 89°С На свету и при нагревании разлагается с выделением кислорода Крепкие растворы око-ло ЗО % вызывают ожоги. Воспламеняет горючие вещества. При хранении в плотно закрытой посуде может вызвать ее взрыв особенно на свету При попадании на кожу и в глаза смыть обильной струей воды Щелочи КОН NaOH Белые кристаллические вещества. При растворении в воде сильно разогревают ее при этом может лопнуть стеклянная посуда в которой растворяется щелочь Вызывают ожоги кожи. Особенно опасно попадание в глаза При попадании на кожу и в глаза смыть обильной струей воды не менее 10 мин а затем сделать примочку: для кожи из 5 %-ной Известковое молоко Са ОН 2 в воде Жидкость молочно-белого цвета При попадании на кожу вызывает сухость и растрескивание кожи. Разъедает глаза уксусной или соляной кислоты для глаз из 3 %-ного раствора борной кислоты. При измельчении щелочи использовать перчатки респиратор очки При попадании в глаза смыть обильной струей воды и промыть глаза 3 %-ным раствором борной кислоты Четыреххлористый углерод СС14 Бесцветная жидкость с характерным запахом. Плотность 1 6 г/см . Температура плавления минус 21°С. Температура кипения 76 7°С. ПДК 2О мг/м3. Класс опасности 2 Пары обладают наркотически отравляющим действием. При попадании на кожу сушит ее вызывает дерматиты При попадании на кожу смазать ее смягчающим кремом. Для защиты от паров противогаз марки А или БКФ Ацетон СНзСОСНз Бесцветная жидкость со специфическим запахом. Плотность 0 79 г/см3. Температура плавления минус 95°С. То же То же 1 2 3 4 5     Температура кипения 56 °С. ПДК 200 мг/м3. Класс опасности 4     Тетрахлорид германия четыреххлорис-тый германий СеСI4 Бесцветная жидкость с едким запахом. Плотность 1 87 г/см 3 Температура плавления минус 49 °С. Температура кипения 83 1°С. ПДК в пересчете на Се 1 мг/м3. Класс опасности 2 Сильно раздражает глаза слизистые оболочки и верхние дыхательные пути . При попадании на кожу вызывает химический ожог При отравлении парами вывести пострадавшего в свежий воздух. При попадании жидкости в глаза и на кожу смыть сильной струей воды. Марка противогаза В или БКФ ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие ................................ 3 Глава 1. Общие положейия ...................... 4 Глава 2. Территория предприятия. Здания ............. 9 Глава 3. Вентиляция. Водопровод .................. 9 Глава 4. Расположение оборудования ................ 10 Глава 5. Содержание осмотр ремонт и чистка технологического оборудования ..................... . 10 Глава 6. Требования к электроустановкам ............. 11 Глава 7. Противопожарные требования ............... 11 Глава 8. Общие требования к безопасному ведению процессов при производстве кремния и германия .......... 12 Глава 9. Производство кремния ................... 14 Хранение трихлорсилана и тетрахлорсилана на складе ..... 14 Общие требования при производстве кремния .......... 15 Синтез трихлорсилана ...................... 16 Очистка и конденсация хлорсиланов трихлорсилана и тетрахлорсилана . ............................. 16 Очистка водорода от примесей ................ . . 17 Водородное восстановление хлорсиланов ............. 17 Очистка газовых выбросов сточных вод и переработка отхо-дов производства .......................... 18 Производство монокристаллического кремния методом бестигельной зонной плавки ....................... 19 Производство монокристаллического кремния методом Чохраль-ского ................................. 20 Подготовка кремния и лигатуры к плавке и кристаллов кремния к металлографическим исследованиям ............ 21 Работа в аналитической лаборатории ............... 22 Глава 1О. Производство германия ................ . 22 Гидрометаллургический передел................... 22 Восстановление двуокиси германия ................ 23 Зонная очистка германия ...................... 24 Выращивание монокристаллов германия методом Чохральского химическая и механическая обработка германия ....... . 24 Глава 11. Ответственность за нарушение правил безопасности. . 24 Справочный материал ....................... . 26 1 2